项目简介
本项目将依托北京科益虹源光电技术有限公司开发满足国产110nm节点光刻机需求的光刻用248nm准分子激光光源产品，近期主营业务（2017~2019年）：一是开发生产和销售ArF（193nm）准分子光刻光源和KrF(248nm) 准分子光刻光源，前者主要用于90nm~65nm节点的光刻机，后者主要用于180~90nm节点的光刻机；二是为国内正在使用ArF、KrF准分子激光光源开展大规模光刻生产的厂商提供翻新维护服务；三是代理经销国外光源相关产品。中期主营业务（2019~2022年）：一是开发生产和销售浸没式双工件台光刻光源，用于45~38nm工艺节点光刻机，此类光源是Cymer公司现在的主流产品，也是国际上最高端的光源产品；二是拓展准分子光源在MEMS器件光刻、激光退火设备市场的应用销售；三是进一步渗透国外厂商在国内的委托服务市场，搭建客户关系平台，组建高效、及时的售后服务体系。
应用领域
智能制造和新材料产业。本项目计划签订不少于三台248nm激光器以及相关产品的销售合同，合同金额不少于2500万元。公司的产品在参与市场竞争中预计价格比国际主流产品低20%-30%，计划到第三年底(2019)年销售收入达到1亿元，第五年 (2021年)年销售收入超过3亿元，争取在半导体光刻光源和其它准分子激光器国内市场的份额超过10％。
