项目简介
本项目联合太原航空仪表有限公司，在已有的研究基础上，开展高精度压力传感器批量化制造技术研究，重点突破高精度硅谐振压力传感器芯片的MEMS制造技术、芯片级组装技术、器件级气密封装技术、厚膜电路等传感器批量化制造技术，解决传感器在规模化生产中的标定、环境试验测试以及可靠性等关键问题，掌握高精度压力传感器批量化制造核心技术，实现高精度压力传感器的国产化制造和工程应用。在军用航空、气象、压力校准仪等领域实现典型工程应用。
应用领域
智能制造和新材料产业。充分发挥研究所在传感器核心芯片研制和太原航空仪表有限公司在传感器工程化和应用的优势，开展高精度压力传感器的批量化生产和工程化应用，打破长期以来我国高精度压力传感器依赖进口的局面，解决国产高精度压力传感器有无问题。预计在项目结束后3年内实现高精度压力传感器年销售规模达到5000只，产值达到5000万元。
