高亮度LED图形化蓝宝石衬底(PSS)刻蚀系统

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项目简介

基于氮化镓材料的高亮度LED(HB-LED)是未来普通照明光源最为重要的技术,它的应用领域包括照明、手机、显示、汽车、信号灯以及其他许多领域。到2012年,预计总的高亮度 LED 市场将轻松超过 20亿美元。

图形化蓝宝石衬底技术(Patterned Sapphire Substrate,简称PSS)可有效减少传统生产中氮化镓外延层的外延缺陷,使外延层晶体质量明显提高,有效提高氮化镓基LED的光功率。

中科院微电子所针对国内外LED生产领域的实际需求,研制出了拥有自主知识产权的电感耦合高密度等离子体刻蚀系统。该设备采用完全自主知识产权,打破了国外设备巨头对LED工艺关键设备的技术垄断,对推动国内蓬勃发展的LED产业具有重大意义。

技术创新点

设备前期研发工作已经基本完成,在完全自主知识产权的基础上,设备样机已经完成制造任务,开始进行工艺测试,并与国内一线芯片制造企业签订试用合同,准备进入试生产阶段。

与国际同类设备相比,该项目设备主要具有以下特点:

(一)刻蚀系统创造性的采用平面式感应线圈结构,有效提高刻蚀均匀性。

(二)刻蚀系统的关键部件全部采用进口的国际主流产品,可实现7天24小时不间断生产。

(三)刻蚀系统采用触摸屏控制,工艺过程全自动,动画实时显示工艺过程的状况和提示。

(四)单次刻蚀2寸蓝宝石23片,GaN 27片。

(五)蓝宝石衬底刻蚀速率达到70nm/min。

项目现状

该系统的实验室样机已完成,目前正准备投入生产化试运行,预计2011年底具备投产条件。

项目前景

该项目正式商业化生产之后,将打破国外设备厂商对高端LED设备的技术垄断,服务国内企业以较低成本获得国际尖端设备,有效降低设备购置成本,参与国际化竞争。

项目规划

项目组计划一期募集资金200万元,用于支撑新开发设备的后期技术改进和测试,团队建设以及为产业化生产提供基础设施保障。同时,希望能引进市场机构,特别是有实力的LED芯片生产企业,以吸收投资为契机,引进先进的管理体系,推动该项目的市场化运营。

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