刘珠明

中国科学院电工研究所

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  • 刘珠明
  • 正高级工程师
  • 北京市海淀区中关村北2街6号

简 历:

2005年毕业于中国科学院研究生院获工学博士学位。2005-2006年在中国科学院微电子研究所从事微纳加工技术方面的工作。2006-2013年先后在在英国Nottingham大学,Swansea大学从事博士后研究,进行近场纳米光刻系统研制,微系统和微能源方面的研究;2013年11月任中国科学院电工研究所研究员。

研究方向:1)热光伏发电技术研究(太空探测电源,工业余热发电);2)微结构能量传输、转换及其应用(光子晶体,表面等离子体技术,超材料)

代表论著:[1]. Zhuming Liu, Xinyong Chen, Yuan Zhang , John Weaver , Clive J. Roberts. An optical leveling technique for parallel near-field photolithography system(Appl. Phys. Lett. 101 173112) ) [2] Ehtsham ul-Haq, Zhuming Liu, Yuan Zhang, Shahrul A. Alang Ahmad, Lu Shin Wong, Steven P. Armes, Jamie K. Hobbs, Graham J. Leggett, Jason Micklefield, Clive J. Roberts and John M.R. Weaver, . Parallel Scanning Near-Field Photolithography: The Snomipede. [J]Nano Lett., 2010, 10 (11), pp 4375–4380 [3] zhuming Liu, Yuan Zhang , John Weaver , Clive J. Roberts,et,al,.Parallel Scanning Near-Field Photolithography in Liquid: The Snomipede, [J] Microelectronic Engineering 88 (2011) 2109–2112 [4] Ehtsham ul-Haq, Zhuming Liu. Yuan Zhang, Shahrul A. Alang Ahmad, Lu Shin Wong, Steven P. Armes, Jamie K. Hobbs, Graham J. Leggett, Jason Micklefield, Clive J. Roberts and John M.R. Weaver . The Snomipede: A Parallel Platform for Scanning Near-Field Photolithography, Journal of Materials Research, 2011 26 :