- 于连忠
- 正高级工程师
- 北京朝阳区北土城西路19号，中科院地质与地球物理研究所
| 简历： |
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于连忠，正高级工程师，博士生导师。1963年出生于上海。1991年毕业于复旦大学微电子专业，获博士学位。1993年毕业于美国纽约州立大学布法罗分校光电子专业，获硕士学位。先后在美国德州仪器公司，Input/Output(ION)公司和霍尼韦尔等公司任职，从事MEMS压力传感器，加速度计，光开关器件，微电镜等的设计、制造工艺研发和批量生产，尤其是对应用于石油勘探领域的MEMS检波器进行了产业化的推进。 |
| 研究方向： |
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高端MEMS传感器制造及产业化 |
| 学科类别： |
| 微电子、半导体工艺、地球与空间探测技术 |
| 职务： |
| 社会任职： |
| 获奖及荣誉： |
| 1990年中国国家教委科技发展三等奖，90-37003，“硅机械结构和压阻元件的研究”1991年中国国家教委科技发展二等奖，91-05007，“PT-14系列集成压力传感器”2007年获IEEE Senior Member |
| 承担科研项目情况： |
| 项目①：国家科技重大专项“十二五”《MEMS加速度传感器规模化制造技术与数字检波器集成 (2011ZX05008-005)》，主要研发人员项目②：国家科技重大专项“十三五”《MEMS技术及工业化试验 (2017ZX05008-008)》，课题负责人 |
| 代表论著： |
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在MEMS传感器生产制造工艺方面获21项美国专利，5项中国发明专利，主要应用于高端MEMS传感器。 201310221525.3 一种MEMS陀螺仪及其制造工艺201310221698.5 一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺201310304674.6 一种MEMS检测装置及其制造工艺201310221840.6 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺201310182168.4 一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺 |
