于连忠

中国科学院地质与地球物理研究所

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  • 于连忠
  • 正高级工程师
  • 北京朝阳区北土城西路19号,中科院地质与地球物理研究所
简历:

于连忠,正高级工程师,博士生导师。1963年出生于上海。1991年毕业于复旦大学微电子专业,获博士学位。1993年毕业于美国纽约州立大学布法罗分校光电子专业,获硕士学位。先后在美国德州仪器公司,Input/Output(ION)公司和霍尼韦尔等公司任职,从事MEMS压力传感器,加速度计,光开关器件,微电镜等的设计、制造工艺研发和批量生产,尤其是对应用于石油勘探领域的MEMS检波器进行了产业化的推进。

研究方向:

高端MEMS传感器制造及产业化

学科类别:
微电子、半导体工艺、地球与空间探测技术
职务:
社会任职:
获奖及荣誉:
1990年中国国家教委科技发展三等奖,90-37003,“硅机械结构和压阻元件的研究”1991年中国国家教委科技发展二等奖,91-05007,“PT-14系列集成压力传感器”2007年获IEEE Senior Member
承担科研项目情况:
项目①:国家科技重大专项“十二五”《MEMS加速度传感器规模化制造技术与数字检波器集成 (2011ZX05008-005)》,主要研发人员项目②:国家科技重大专项“十三五”《MEMS技术及工业化试验 (2017ZX05008-008)》,课题负责人
代表论著:

在MEMS传感器生产制造工艺方面获21项美国专利,5项中国发明专利,主要应用于高端MEMS传感器。

201310221525.3 一种MEMS陀螺仪及其制造工艺201310221698.5 一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺201310304674.6 一种MEMS检测装置及其制造工艺201310221840.6 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺201310182168.4 一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺