刘涛

中国科学院微电子研究所

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  • 刘涛
  • 副研究员
  • 北京市朝阳区北土城西路3号

简 历:

教育背景

美国佛罗里达国际大学电子工程系,摩托罗拉纳米工程中心,光学博士。(2009年)

中国科学技术大学物理系,物理学学士。(2003年)

工作简历

中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 副研究员。(2010年-)

专注于纳米尺度物质的结构测量及物性表征方法研究,及相关仪器的系统级研发。

科研方向

1)新型扫描探针测量。

2)超宽频带偏振光谱测量

3)光学散射表征技术。

4)光学干涉及三维结构测量。

5)新型纳米光学器件。

应用方向

1)超衍射空间分辨率的物性表征。

2)微纳结构三维形貌测量(周期性结构/非周期性结构)。

3)微纳薄膜结构测量和物性表征。

4)晶圆表面缺陷及污染的检测。

社会任职:

深圳中科飞测科技有限公司,总监。(2015年-2018年)

研究方向:新型扫描探针测量,超宽频带偏振光谱测量,光学散射表征技术,光学干涉及三维结构测量,新型纳米光学器件 承担科研项目情况:

1. 国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项,课题负责人。(2017年 -)

2. 中国科学院科研装备研制项目,课题负责人(2017年 - )

3. 中国科学院科研装备研制项目,项目负责人(2019年 - )

4. 国家科技部02重大专项,中央680万,课题负责人,(已结题)(2011年-2016年)

5. 率领开发的晶圆在线检测设备已重复销往国内一流IC企业,创国内先例。(2015年-2018年)

代表论著:

学术论文20余篇,引用300余次

专利申请:

获得和申请发明专利50余项,美国2项;著作章节1项