- 刘涛
- 副研究员
- 北京市朝阳区北土城西路3号
简 历：
教育背景
美国佛罗里达国际大学电子工程系，摩托罗拉纳米工程中心，光学博士。（2009年）
中国科学技术大学物理系，物理学学士。（2003年）
工作简历
中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 副研究员。（2010年-）
专注于纳米尺度物质的结构测量及物性表征方法研究，及相关仪器的系统级研发。
科研方向
1）新型扫描探针测量。
2）超宽频带偏振光谱测量
3）光学散射表征技术。
4）光学干涉及三维结构测量。
5）新型纳米光学器件。
应用方向
1）超衍射空间分辨率的物性表征。
2）微纳结构三维形貌测量（周期性结构/非周期性结构）。
3）微纳薄膜结构测量和物性表征。
4）晶圆表面缺陷及污染的检测。
社会任职：
深圳中科飞测科技有限公司，总监。（2015年-2018年）
研究方向：新型扫描探针测量，超宽频带偏振光谱测量，光学散射表征技术，光学干涉及三维结构测量，新型纳米光学器件 承担科研项目情况：
1. 国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项，课题负责人。（2017年 -）
2. 中国科学院科研装备研制项目，课题负责人（2017年 - ）
3. 中国科学院科研装备研制项目，项目负责人（2019年 - ）
4. 国家科技部02重大专项，中央680万，课题负责人，（已结题）（2011年-2016年）
5. 率领开发的晶圆在线检测设备已重复销往国内一流IC企业，创国内先例。（2015年-2018年）
代表论著：
学术论文20余篇，引用300余次
专利申请：
获得和申请发明专利50余项，美国2项；著作章节1项
