熊伟

中国科学院微电子研究所

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  • 熊伟
  • 副研究员
  • 北京市朝阳区北土城西路3号

简 历:

教育背景

2004年—2009年,清华大学,微电子研究所,博士。

2000年—2004年,清华大学,电子工程系,学士。

工作简历

2012年—至今,中国科学院微电子研究所,微电子仪器设备研发中心,副研究员。

2009年—2011年,浙江大学,电气工程学院,博士后,助理研究员。

社会任职: 研究方向:

本人主要致力于深亚微米集成电路生产过程中多种关键技术的研究,在半导体工艺模拟及光学检测的算法实现和优化技术上有一定的造诣。至今已在国内外学术会议及期刊杂志上发表论文25篇,其中SCI收录9篇,EI收录12篇,获得国内专利6项。

承担科研项目情况:

1. 国家自然科学基金资助项目“用于修正三维厚模效应的逆向光掩模综合方法”,课题号:61404162,2015-2017,已结题,课题主持人。

2. 02专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》子课题“45-22nm OCD检测系统研发与产业化”,“OCD设备考核认证及示范应用”,2011~2015,已结题,项目骨干。

3. 中国科学院科研装备研制项目“深紫外宽光谱成像型椭圆偏振光谱仪及石墨烯的光学量测研究”,2013-2017,已结题,项目骨干。

代表论著:

[1] Xuqing Sun, Hongyao Liu, Liwen Jiang, Wei Xiong, Yaqin Chen, Xinchao Lu, Label-free Imaging to Single Nanoparticle by Surface Plasmon Polariton In-plane Scattering, CLEO Pacific Rim Conference, 29 July ~ 03 August, 2018

[2] Xinchao Lu, Sun Xuqing, Liwen Jiang, Hongyao Liu,Wei Xiong, Fast, In-situ, Label-free Imaging to Single Nanoparticle and Virus by Using Surface Plasmon Polariton In-plane Scattering, International Conference on Information Optics and Photonics, 8~11 July, 2018

[3]江丽雯,孙旭晴,刘虹遥,谌雅琴,熊伟,张朝前,路鑫超,基于倏逝波界面散射的单个纳米颗粒无标记成像,光学学报,第38卷第6期,0624001,2018

[4] Jiang Liwen, Sun Xuqing, Liu Hongyao, Xiong Wei, Chen Yaqin, Lu Xinchao, Label-free imaging to single nanoparticle by using TIR-based interface Scattering, JSAP-OSA Joint Symposia, JSAP 2017, 18~21 Sep., 2017

[5] Xuqing Sun, Hongyao Liu, Yan Yang, Wei Xiong, Yaqin Chen, Liwei Jiang, Nan Li, Xinchao Lu, Hong Tang, Yang Xia, Imaging to Single Virus by Using Surface Plasmon Polariton Scattering, Proc. SPIE, vol.10244, 1024425, 2017

[6] 姜春光,谌雅琴,刘涛,熊伟,李国光,纪峰,全反射式宽光谱成像椭偏仪,光电工程,第43卷第一期,55-59,2016

[7] 温朗枫,熊伟,李国光,陈树强,付永启,“严格耦合波收敛层数的研究”, 《中国科技论文》1月第八卷第一期, 2013

[8] 张强,熊伟,荣健,耦合波分析中任意二维光栅介电常数的傅里叶分析,激光与光电子学进展,第50卷,090501,2013

[9] 严冬*、李国光、刘涛、熊伟、李成敏、郭青杨、叶甜春,基于反射测定法的SOI膜厚检测系统,微电子学杂志,43(5),727-730,2013

[10] 徐鹏、刘涛、王林梓、李国光*、熊伟、荣健,样品校准法在单波长椭偏仪中的应用,光学学报,33(4),4012002,2013

专利申请:

1. “一种利用全穆勒矩阵椭圆偏振仪进行光学测量的方法”,专利号:CN104677834A,第三发明人

2. “一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法”,专利号:CN104677833A,第四发明人

3. “一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统”,专利号:CN104677838A,第三发明人

4. “一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法”,专利号:CN104677837A,第四发明人

5. “一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法”,专利号:CN104677835A,第三发明人

6. “一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统”,专利号:CN104677836A,第三发明人

获奖及荣誉: