徐勤志

中国科学院微电子研究所

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  • 徐勤志
  • 副研究员
  • 北京市朝阳区北土城西路3号

简 历:

教育背景

2000.9-2004.7,吉林大学,信息与计算科学,理学学士

2006.9-2008.7,北京化工大学,应用数学,理学硕士

2008.9-2011.7,北京化工大学,化学工程与技术,工学博士

工作简历

2011年至今,中国科学院微电子研究所,主要从事纳米集成电路可制造性设计和化学机械研磨多物理仿真技术研发;

2004-2006年,主要从事数据采集装置软硬件研发、销售及行政工作。

社会任职:Soft Matter, J. Phys. Chem., ECS J. Solid State Sci. Technol., J. Electron. Mater.等期刊审稿人国家自然基金项目评审人 研究方向:纳米集成电路可制造性设计,化学机械研磨多物理仿真,高分子材料构性关系理论和模拟方法。 承担科研项目情况:

主持完成国家自然科学基金等2项,作为主要完成人参与完成01、02国家科技重大专项子课题、国家自然科学基金、北京市科技创新基地培育与发展工程子专项、企业横向课题等10余项。

代表论著:

1. Qinzhi Xu, Lan Chen, Fei Yang, and He Cao, Langmuir 34, 11612-11628 (2018).(SCI, IF=3.789)

2. Qinzhi Xu, Fei Yang, Lan Chen, and He Cao, Int. J. Preci. Eng. Manuf. 19, 1585-1595 (2018). (SCI, IF=1.661)

3. Lan Chen, Qinzhi Xu, Fei Yang, Yan Sun, and Hongwei Liu, ECS J. Solid State Sci. Technol. 7, P529-P536 (2018). (SCI, IF=1.808)

4. Qinzhi Xu, Lan Chen, Fei Yang, and He Cao, Microelectron. Eng. 183-184, 1-11 (2017).(封面文章, SCI, IF=2.02)

5. Qinzhi Xu and Lan Chen, Polymer 105, 51-63 (2016).(SCI, IF=3.483)

6. Qinzhi Xu, Yancong Feng, and Lan Chen, Soft Matter 12, 1385-1400 (2016).(封面文章, SCI, IF=3.709)

7. Ziwei Yang, Qinzhi Xu, and Lan Chen, IEEE Trans. Compon. Packag. Manuf. Technol. 6, 177-184 (2016). ( SCI, IF=1.66)

8. Qinzhi Xu, Lan Chen, and Jingjing Fang, Microelectron. Eng. 149, 14-24 (2015). (SCI, IF=2.02)

9. Qinzhi Xu and Lan Chen, ECS J. Solid State Sci. Technol. 4, P101-P107 (2015). (SCI, IF=1.808)

10. Qinzhi Xu and Lan Chen, Jingjing Fang and Fei Yang, Microelectron. Eng. 131, 58-67 (2015). (SCI, IF=2.02)

11. Xin Wang, Shui Wang, Qinzhi Xu, and Jianguo Mi, J. Phys. Chem. B 119, 1660-1668 (2015).(SCI, IF=3.146)

12. Qinzhi Xu, and Lan Chen, ECS J. Solid State Sci. Technol. 3, P60-P74 (2014).(SCI, IF=1.808)

13. Qinzhi Xu, Mengjin Xu, Yancong Feng, and Lan Chen, J. Chem. Phys. 141, 204901 (2014).(SCI, IF=2.843)

14. Qinzhi Xu, and Lan Chen, J. Chem. Phys. 140, 234901 (2014).(SCI, IF=2.843)

15. Qinzhi Xu, and Lan Chen, J. Electron. Mater. 42, 2630-2640 (2013).(SCI, IF=1.566)

16. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, J. Chem. Phys. 133, 174104 (2010).(SCI, IF=2.843)

17. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, Ind. Eng. Chem. Res. 49, 4914-4922 (2010).(SCI, IF=3.141)

18. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, Macromolecules 42, 2826-2830 (2009).(SCI, IF=5.914)

19. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, J. Chem. Phys. 128, 214508 (2008).(SCI, IF=2.843)

专利申请:

以第一发明人申请专利30余项,已授权18项。部分代表性授权专利:

1. 徐勤志,陈岚,阮文彪,叶甜春,基于浅沟道隔离技术的化学机械研磨终点检测方法及系统,北京,ZLCN201110335135.X。

2. 徐勤志,陈岚,铝栅CMP化学反应动力学仿真及版图设计优化方法,北京,ZLCN201210581850.6。

3. 徐勤志,陈岚,一种芯片表面形貌仿真的方法及装置,ZL201310092423.6.

4. 徐勤志,方晶晶,陈岚,计算晶圆表面研磨去除率的方法,北京,ZLCN201210458982.X。

5. 徐勤志,陈岚,方晶晶,一种铝栅CMP协同计算模型的仿真及优化方法,北京,ZLCN201210581845.5。

6. 徐勤志,陈岚,一种可制造性设计仿真器设计方法及系统,ZL201610052912.2.

获奖及荣誉:

2018年北京市科学技术奖三等奖(排名第六)

2018年中国电子学会科学技术奖二等奖(排名第三)