袁 泉

中国科学院半导体研究所

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  • 袁 泉
  • 研究员

袁 泉

袁泉,男,博士,副研究员,硕士生导师。

2006年西北工业大学电子信息学院本科,2012年北京大学微电子学与固体电子学理学博士(硕博连读),并进入中国科学院半导体所集成中心工作,目前任副研究员。研究领域覆盖半导体射频微机电(RF MEMS)时频器件、传感器件和半导体功能材料等领域。包括射频MEMS谐振器件、生化MEMS传感器件、MEMS能量采集器件(PowerMEMS)、无线能量采集系统及新型半导体材料、纳米材料、柔性材料、磁性材料及微纳集成系统。

近年来承担国家自然基金面上项目、青年基金项目、国家重点实验室项目等,参与多项国家自然基金重点项目、科技部“863”课题、科学院前沿项目、省地项目等,负责项目和骨干参与项目经费共计900余万元。共发表SCI/EI论文30余篇,申请中国专利12项,授权8项,申请美国专利1项。

取得的重要科研成果:

针对下一代无线通信需求,开发多种高性能、可集成硅基射频MEMS谐振器件。国内首次制备百MHz射频MEMS圆盘谐振器,高稳定性MEMS振荡器和窄带滤波器等,基频150MHz,Q值>10000,高阶728MHz,器件性能与国外相当。开发板级振荡器,短期频率稳定性<±1ppm等指标优于国外产品,正推进产业化。开发多种超窄带、低损耗的MEMS滤波器,实现小于1%的超窄带滤波特性。开发新型MEMS低噪声混频模块。开发基于MEMS技术的高性能压控振荡器(VCO)模块,实现新型射频系统。

针对物联网应用,研究多种微纳传感器及供能系统。基于悬臂梁的高灵敏度生化检测传感器、柔性可穿戴传感器、低功耗无线信号传输系统、电磁式能量采集系统,实现对环境和植入生化系统的检测。

以微纳系统集成为目标,研究多种半导体材料、纳米材料、生化兼容柔性材料、压电材料、磁性材料的特性、制备方法和系统集成方法等,实现多种新材料微纳器件。

合著多本书籍“MicroElectroMechanicalSystems”(Springer),《无线网络微传感器芯片系统》(科学出版社)等。担任多个国内外行业重要期刊审稿人,IEEETrans.on.Nanotech.,J.Microelectromech.Syst.,J.Mater.Research.,Advan.inNumer.Analy.,红外与毫米波学报等。

在国科大讲授多门专业核心课和研讨课。协助培养11名博士和6名硕士,其中已毕业博士7名/硕士4名,外校实培本科2名。

主要研究领域方向:

1、研究适用于下一代无线通信的多种高性能、集成化射频器件的设计、制作工艺、圆片级三维封装、测试等基础理论和关键技术研究,基于MEMS技术的高性能、低功耗无线通信系统。

2、研究多种新型MEMS物理、生化传感器、光学传感器、柔性传感器、能量采集器及集成化自供能传感器系统。

3、研究多种新型半导体材料、纳米材料、生化兼容柔性材料、压电材料、磁体材料的力学、电学、机械特性,制备方法和微纳系统集成方法等,实现新材料应用和新传感原理器件。

联系方式:

邮箱:yuanquan@semi.ac.cn;电话:010-82304354;

代表性论文或著作:

Z.J. Chen, F.X. Wang, Q. Yuan, et al, , Sens.Actuators,A: Physical,2019(SCI)

J. Zhao#, Quan Yuan#, et al, Microsystem Technologies, Sep, 2018, 24(9), pp 3885-3892.(SCI)

Q.Yuan,W.Luo,etal,IEEETrans.onElectr.Dev.,Vol65,Issue5,2015,pp1605-1608.(SCI)

M.Han#,Q.Yuan#,etal,J.Microelectromech.Syst.,Vol.23,Iss.1,2014,pp.204-212.(SCI)(引用47)

X.Sun#,Q.Yuan#,etal,Sens.Actuators,A,Vol.188,Dec2012,pp.190-197.(SCI)

J.Zhao,Q.Yuan,etal,J.Micromech.andMicroeng.,2016,27(1):014003.(SCI)

J.Zhao,Q.Yuan,etal,Sens.Actuators,A,2016,252:104-111.(SCI)

X.Li,Q.Yuan,etal,J.Appl.Phys.,Vol.111,No.7,Mar2012,pp.7341-7343(SCI)

Q.Yuan,BohuaPeng,etal,Transducers2015,Alaska,USA,July,2015,pp.1968-1972.(顶级会议EI)

F.X. Wang, Q. Yuan, IEEE International Frequency Control Symposium2018 (IFCS 2018), May 21-24, 2018, Olympic Valley, California, USA. (顶级会议EI)