张明亮

中国科学院半导体研究所

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  • 张明亮
  • 研究员

张明亮

张明亮,男,博士,副研究员,硕士生导师。

2000年及2003年于安徽大学化学化工学院获学士及硕士学位,2007年于香港城市大学生物及化学系获博士学位,2007-2009年,在香港城市大学和加州大学圣迭戈分校从事博士后研究。2010年加入中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心。

在硅基微纳结构、器件研究及应用方面做了大量探索性工作,已发表论文40多篇,申请专利10多项,其中单篇文章已被引用389次。

目前主要研究兴趣集中在:

1)MEMS压力传感器;

2)微纳加工技术开发及MEMS制作;

3)微纳能源器件。

联系方式:

zhangml@semi.ac.cn;010-82305405

代表性论文及专利:

1. Z. Ma, Y. Liu, L. Deng; M.L. Zhang, S. Zhang; J. Ma, P. Song, Q. Liu, A. Ji, F.H. Yang, X.D. Wang, Nanomaterials, 2018, 8, 1.

2. Y. Liu, M.L. Zhang, A. Ji, F.H. Yang, X.D. Wang, Rsc Advances,2016,6, 48933.

3. Y.Y. Qi, Z. Wang, M.L. Zhang, X.D. Wang, A. Ji, F.H. Yang, 2014, 4, 031307.

4. X. Fan, M.L. Zhang, X.D. Wang, F.H. Yang, X.M. Meng, J. Mater. Chem. C,2013, 1, 8694.

5. Y.Y. Qi, Z. Wang, M.L. Zhang, F.H. Yang, X.D. Wang, J. Mater. Chem. A, 2013, 1, 6100

6. M.L. Zhang, X. Fan, H. W. Zhou, M. W. Shao, J. A. Zapien, N. B. Wong, S. T. Lee, J Phys. Chem. C., 2010, 114, 1969.

7. M. L. Zhang, K. Q. Peng, X. Fan, J. S. Jie, R. Q. Zhang, S. T. Lee, N. B. Wong, J. Phys. Chem. C,2008, 112, 4444.

8. M. L. Zhang, X. Fan, J. S. Jie, J. P. Hsu, N. B. Wong, J. Phys. Chem. C, 2008, 112, 15943.

9. M. L. Zhang, C. Q. Yi, X. Fan, K. Q. Peng, R. Q. Zhang, M. S. Yang, S. T. Lee, N. B. Wong,Appl. Phys. Lett., 2008, 92, 043116.

10. Y.F. Liu, J. Xie, M.L. Zhang, J.L. Yang, F.H. Yang, J. Microelectromech. Syst., 2011, 20, 470.

11. 张明亮,季安,王晓东,杨富华,基于浓硼掺杂硅的可动微纳结构的制备方法,2017.12.22,中国,CN201711414427.6

12. 张明亮,季安,王晓东,杨富华,浓硼掺杂硅纳米线压阻式MEMS压力传感器的制备方法, 2017.12.22,中国,CN201711414428.0

13. 张明亮,季安,王晓东,杨富华,基于二维电子气的MEMS高温压力传感器及其制备方法,2017.11.10,中国,CN201711103665.5

14. 张明亮,季安,王晓东,杨富华,一种基于硅玻璃阳极键合的圆片级高真空无引线封装方法, 2017.12.29, 中国, CN201711498022.5

15. 张明亮,季安,王晓东,杨富华,基于离子注入石墨烯谐振式MEMS压力传感器制备方法, 2017.12.29,中国, CN201711498024.4

16. 张明亮,季安,王晓东,杨富华, 一种硅硅玻璃硅四层结构谐振式MEMS压力传感器制备方法,2018.1.30,中国, CN201810093230.5