宗明成

中国科学院微电子研究所

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  • 宗明成
  • 副总工程师
  • 研究员
  • 北京市朝阳区北土城西路3号
简 历:

教育背景

1989年毕业于清华大学物理系,获理学(光学)博士学位

1986年毕业于东南大学电子工程系,获工学硕士学位

1983年毕业于东南大学电子工程系,获工学学士学位

工作简历

2011.04 –至今:中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专家组和实施办公室特聘专家。中国科学院光电研究院兼职研究员,中国科学院长春光机所兼职研究员,哈尔滨工业大学兼职教授。

2009.05 – 2011.03:荷兰皇家飞利浦照明研发中心(中国)总监。

2000.01 – 2009.05:荷兰ASML光刻机公司研发经理,高级工程师。

1999.02 – 1999.12:荷兰国家原子分子研究所 (AMOLF)研究员。

1998.02 – 1999.01:荷兰代尔夫特(Delft)技术大学研究员。

1990.01 – 1998.01:北京交通大学教授,系主任等。

社会任职: 研究方向:光刻技术,光学工程,精密计量,精密测控技术, 极紫外(EUV)技术等。 承担科研项目情况: 代表论著: 专利申请: 获奖及荣誉: