- 宗明成
- 副总工程师
- 研究员
- 北京市朝阳区北土城西路3号
教育背景
1989年毕业于清华大学物理系，获理学（光学）博士学位
1986年毕业于东南大学电子工程系，获工学硕士学位
1983年毕业于东南大学电子工程系，获工学学士学位
工作简历
2011.04 –至今：中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专家组和实施办公室特聘专家。中国科学院光电研究院兼职研究员，中国科学院长春光机所兼职研究员，哈尔滨工业大学兼职教授。
2009.05 – 2011.03：荷兰皇家飞利浦照明研发中心（中国）总监。
2000.01 – 2009.05：荷兰ASML光刻机公司研发经理，高级工程师。
1999.02 – 1999.12：荷兰国家原子分子研究所 （AMOLF）研究员。
1998.02 – 1999.01：荷兰代尔夫特（Delft）技术大学研究员。
1990.01 – 1998.01：北京交通大学教授，系主任等。
社会任职： 研究方向：光刻技术，光学工程，精密计量，精密测控技术, 极紫外（EUV）技术等。 承担科研项目情况： 代表论著： 专利申请： 获奖及荣誉：