张庆钊

中国科学院微电子研究所

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  • 张庆钊
  • 研究员
  • 北京市朝阳区北土城西路3号

简 历:

教育背景

1999.9~2003.7 天津大学 电子科学与技术系 学士学位 (管理学院 技术经济-双学位)

2003.9~2008.7 中国科学院微电子研究所 获工学博士学位

工作简历

2008.9~至今 中国科学院微电子研究所 微电子设备技术研究室 副研究员

2008.1~2011.3 北方微电子公司 产品经理,负责300mm等离子体刻蚀机设备研发和工艺开发

社会任职: 研究方向:半导体等离子体制造技术和设备开发;太阳能电池制造技术及其设备技术开发 承担科研项目情况:国家02科技重大专项,执行期2009年-2011年,课题负责人 代表论著: 专利申请: 获奖及荣誉: