粟雅娟

中国科学院微电子研究所

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  • 粟雅娟
  • 研究员
  • 北京市朝阳区北土城西路3号

简 历:

教育背景

2005年毕业于清华大学,工学博士

1998年毕业于电子科技大学,工学硕士

1995年毕业于电子科大学,工学学士

工作简历

2019年-至今:中国科学院微电子研究所 研究员

2008年-2018年:中国科学院微电子研究所 副研究员

2005年-2007年:中国科学院微电子研究所 博士后

1998年-2000年:电子科技大学 讲师

社会任职: 研究方向:计算光刻、设计工艺联合优化(DTCO)、低功耗器件/电路建模、二维材料器件/电路 承担科研项目情况:

自然科学基金:“面向低功耗数字电路应用的多晶锗硅纳机电开关研究”,项目负责人;

973计划子课题:“低功耗器件建模与集成电路”,子课题负责人;

所长基金:“IP共性技术研究-IP打包技术”,项目负责人;

国家重大科技专项:“晶圆级石墨烯电子材料与器件研究”,任务负责人;

所内研发项目:“混合信号PDK开发”;项目负责人;

国家重大科技专项:“5nm光刻技术方案与设计规则优化”,课题骨干;

国家重大科技专项:“下一代技术节点三维存储器的光刻方案研究”,课题骨干;

国家重大科技专项:“国产计算光刻系统性能评估”,课题骨干;

国家重大科技专项:“ET-SOI器件与关键工艺研究”,课题骨干;

国家重大科技专项:“14nm FINFET工艺技术研发”,课题骨干;

科技部重点专项:“半导体二维晶体材料的制备”,课题骨干;

国家重大科技专项:“22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设”,课题骨干;

所长基金:“面向20/14nm技术节点的先进光刻技术”,课题骨干;

代表论著:

发表SCI和EI论文30余篇,专利10余项。

专利申请: 获奖及荣誉: