- 陈大鹏
- 副所长
- 研究员
- 北京市朝阳区北土城西路3号
简 历： 社会任职： 研究方向：微细加工技术 承担科研项目情况：
(1)“九五”国家重点科技攻关项目97－762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97－762－03 “先进的深亚微米工艺技术”；
(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机（SCALPEL）”的子课题“投影电子束掩模研制”；
(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”；
(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”；
(5)科技部863项目；
(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”；
(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”；
(8)中国科学院知识创新方向性项目。
代表论著： 专利申请： 获奖及荣誉：
2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖
