陈大鹏

中国科学院微电子研究所

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  • 陈大鹏
  • 副所长
  • 研究员
  • 北京市朝阳区北土城西路3号

简 历: 社会任职: 研究方向:微细加工技术 承担科研项目情况:

(1)“九五”国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”;

(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机(SCALPEL)”的子课题“投影电子束掩模研制”;

(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”;

(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”;

(5)科技部863项目;

(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”;

(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”;

(8)中国科学院知识创新方向性项目。

代表论著: 专利申请: 获奖及荣誉:

2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖