吴德馨

中国科学院微电子研究所

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  • 吴德馨
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  • 北京市朝阳区北土城西路3号

简 历:

曾任:

国家重大科技攻关课题负责人;

攀登计划首席科学家;

国家重大基础研究顾问专家组成员;

中国科学院学部主席团成员;

中国电子学会常务理事;

半导体与集成技术分会主任;

第九届、十届全国人大常委会委员和教科文卫委员会委员等职务。

社会任职: 研究方向:半导体器件和集成电路 承担科研项目情况: 代表论著: 专利申请: 获奖及荣誉:

在国内率先提出了利用MEMS结构实现激光器和光纤的无源耦合。并研究成功工作速率达10Gbps的光发射模块。其中“先进的深亚微米工艺技术及新型器件”获2003年北京市科学技术一等奖。

独立自主开发成功全套0.8微米CMOS工艺技术。获1998年中国科学院科技进步一等奖和1999年国家科技进步二等奖。作为国家攀登计划首席科学家负责“深亚微米结构器件及介观物理项目研究。开展了12项课题的研究。为介观物理基础和新结构器件的进一步研究打下基础

作为工艺负责人研究成功N沟MOS 4K、16K动态随机存储器和成品率的提高。独创了检验接触孔质量的露点检测法。并推广到上海器件五厂。分别获得1980和1981年中国科学院科技成果一等奖两次。负责平面型高速开关管的研究,独立解决了提高开关速度的关键问题,并推广至上海器件五厂和109厂,为两弹一星采用的109计算机提供器件基础。获国家新产品一等奖。

2004年,获何梁何利技术科学奖。