高建峰

中国科学院微电子研究所

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  • 高建峰
  • 副研究员
  • 集成电路先导工艺研发中心

简 历:

教育背景

2002/9 --- 2005/4 北京科技大学 材料学 硕士

1998/9 ---2002/7 中国矿业大学 材料科学与工程 本科

工作简历

2012.05 --- 至今 中国科学院微电子研究所

2005.04 --- 2012.4 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

社会任职: 研究方向:先进IC制造中新材料和新结构器件的薄膜工艺研发 承担科研项目情况:

国家02科技重大专项,“极大规模集成电路装备及成套工艺”子课题“22 nm平面器件”

国家02科技重大专项,“极大规模集成电路装备及成套工艺”子课题“16/14nm FinFET器件”

国家02科技重大专项的子课题:面向45-22nm 铜互连的PVD设备的工艺模块开发

国家重大科技专项, ET-SOI器件与关键工艺研究

中国科学院项目: “功能器件晶圆级检测与性能表征”

此外,承担多项企业重大横向开发项目

代表论著: 专利申请: 获奖及荣誉:

2013年度微电子研究所先进工作者

2015年度微电子研究所优秀员工

2016年度微电子研究所优秀员工