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厂商及型号
非标
性能参数
图形位置精度40nm，对准精度30nm，SPP条纹对接40 nm（地址≤125nm）、50nm（地址＞125nm），MPG条纹对接35nm，PSM层到层定位精度（≤600nm抗蚀剂）60nm，阵列定位精度0.15mm
服务功能
X射线曝光对准
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