厂商及型号
TEAM EDS
性能参数
①能谱探测器：场效应管(FET)内置的高速 电制冷SDD探测器，晶体面积10mm2②可分析元素范围：Be4~U92③能量分辨率(Mn-Ka)：依ISO1562国际标准测量，优于129eV④轻元素分辨率：C-K/52eV⑤谱仪处理能力：配SDD专用数字脉冲处理器，最大可处理计数率能力850,000CPS，最大输出计数率350,000CPS，⑥峰背比例：优于10,000:1~15,000:1
服务功能
能谱仪安装在电子显微镜上，主要对被测物的元素成分进行定性与半定量分析。能够智能跟踪扫描电镜、能谱探测器及样品台的状态，从而监控电镜和能谱工作状态；具有智能能谱仪分析系统，可以实现智能物相分析，自动识别样品中的相簇并给出面分布，同时进行数据采集、相分析、结果解释工作，不需要采集之后的后处理过程，也不需要预先知道样品的化学组成；具有CPS计数率面分布功能，能够给出每个象素点X射线计数率变化的可视化直观表示，并提供CPS计数率归一化显示；在10万CPS下分辨率优于129eV；电子束的定位精度高达16位，可以从电镜中得到分辨率高达8192 ×6400像素的电子图像。
