相位调制型椭圆偏振光谱仪

中国科学院理化技术研究所

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厂商及型号

Horiba Uvisel FUV

性能参数

 

服务功能

相位调制型椭圆偏振光谱测试分析薄膜材料折射率,计算薄膜厚度和定性材料成分等