二次离子质谱仪

中国科学院化学研究所

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厂商及型号

Hiden Analytical Ltd. SIMS

性能参数

优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度。可以检测到ppm或更低的浓度; 深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率; 小面积分析(10 μm 或更大); 检测包含H在内的元素及同位素.

服务功能

掺杂剂与杂质的深度剖析; 薄膜的成份及杂质测定 (金属、电介质、锗化硅 、III-V族、II-V族) ; 超薄薄膜、浅植入的超高深度辨析率剖析 ; 硅材料整体分析,包含B, C, O,以及N ; 工艺工具(离子植入)的高精度分析.