厂商及型号
Hiden Analytical Ltd. SIMS
性能参数
优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度。可以检测到ppm或更低的浓度; 深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率; 小面积分析（10 μm 或更大）; 检测包含H在内的元素及同位素.
服务功能
掺杂剂与杂质的深度剖析; 薄膜的成份及杂质测定 （金属、电介质、锗化硅 、III-V族、II-V族） ; 超薄薄膜、浅植入的超高深度辨析率剖析 ; 硅材料整体分析，包含B, C, O,以及N ; 工艺工具（离子植入）的高精度分析.
