冷场发射扫描电子显微镜与能谱分析仪

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厂商及型号

日立 SU8020

性能参数

1.分辨率:二次电子(SE)像 15 kV时1.0 nm;1 kV时1.4 nm (不采用减速模式情况下)。 2.放大倍率范围:20 ~ 1,000,000倍 根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准。 3.加速电压:200V ~ 30kV,着陆电压:20V ~ 30 kV。 4.电子枪:场发射电子枪。 5.电子束流:0.6pA ~ 200 nA,连续可调。 6.束流稳定性:每10小时 < 0.4%。 7.配备电子束减速模式。 8.物镜光阑:物镜光栏能自加热自清洁;无需拆卸镜筒

服务功能

超高分辨率扫描电子显微分析系统。 The high?resolution scanning electron?microscopic analysis system,and EDS analysis system.