厂商及型号
日立 SU8020
性能参数
1.分辨率：二次电子（SE）像 15 kV时1.0 nm；1 kV时1.4 nm (不采用减速模式情况下)。
2.放大倍率范围：20 ～ 1,000,000倍 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。
3.加速电压：200V ~ 30kV，着陆电压：20V ～ 30 kV。
4.电子枪：场发射电子枪。
5.电子束流：0.6pA ～ 200 nA，连续可调。
6.束流稳定性：每10小时 < 0.4%。
7.配备电子束减速模式。
8.物镜光阑：物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒
服务功能
超高分辨率扫描电子显微分析系统。
The high？resolution scanning electron？microscopic analysis system,and EDS analysis system.
