精密光学浮区系统

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厂商及型号

FI-T-1000-H-VZ-VPO-PC

性能参数

最高温度 2200°C, 生长速度:0.05 ~27 mm/hr,输入电压涨落< ±0.4%,最小压力: 5×10(-5) torr

服务功能

通过精确控制温度以及生长气氛获得高质量的单晶