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可溯源的计量型扫描探针显微镜
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可溯源的计量型扫描探针显微镜
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厂商及型号
自我研制 NANOCTR-I
性能参数
本仪器由原子力显微镜主体,高精度三维激光干涉测距装置,测控系统和精密温控箱组成,通过激光干涉将样品台位移与633nm碘稳频氦氖激光波长相联系,使原子力成像测量实现计量溯源
服务功能
三维表面形貌成像分析,接触模式; SPM扫描范围:X/Y方向：100nm-100μm, Z方向：10nm - 10μm。激光干涉测量灵敏度:0.1nm
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