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设备 / 光学仪器

扫描电子显微镜/聚焦离子束双束系统

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厂商及型号

Nova200 NanoLab

性能参数

Nova200 NanoLab双束系统是一台高度集成化的纳米技术工作站。可以直接生成、修改与表征纳米级结构

服务功能

(1)离子束刻蚀；(2)XeF2绝缘体增强刻蚀；(2)离子束沉积金属Pt,绝缘体SiO2；(3)电子束沉积金属Pt；(4)电子束/离子束曝光；(5)电子束/离子束成像
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