扫描电子显微镜(智能化电制冷能谱仪)

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厂商及型号

SIGMA FESEM(TEAM EDS)

性能参数

二次电子像分辨率1.3nm (20 kV)( 可分析元素范围:Be4~U92; 能量分辨率(Mn-Ka)优于129eV;轻元素分辨率:C-K/52eV)

服务功能

材料微观形貌分析