厂商及型号
Zeiss SIGMA
性能参数
电镜二次电子像分辨率可达1.3nm (20 kV)，电子源加速电压调整范围为100 V～30 kV，放大倍率范围为12X～1000,000X
服务功能
该设备内置镜筒内（In-lens）二次电子探测器、样品室二次电子探测器、背散射电子探测，样品台为五轴全自动控制，是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。其二次电子探测器和背散射电子探测器均内置于镜筒电子束光路上，试样的工作距离不受背散射探测器的影响，可以非常接近极靴，这样可以同时获得最高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率，且接收的背散射电子的能量可以控制。
