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厂商及型号
S4800
性能参数
二次电子分辨率：1.0nm（15kV），1.4nm（1kV） 放大倍率：20倍-80万倍 二次电子分辨率：0.4nm（30kV），1.6nm（1kV） 放大倍率：60倍-200万倍
服务功能
用于在线的8寸整片晶圆观测，
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