场发射枪环境扫描电子显微镜

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厂商及型号

Quanta 250 FEG

性能参数

高真空30kV下0.8nm(STEM),1.0nm(SE), 2.5nm(BSE), 1kV下3.0nm(SE)

服务功能

用于多环境下纳米光电子器件、纳米材料和微纳器件结构表征