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OPLYMPUS LEXT OSL 4000
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可获得分辨率高达0.12μm的表面显微图像，通过处理图像，获得样品表面的三维真实形态，最终可测得亚微米级的线宽,面积,体积,台阶,线与面粗糙度,透明膜厚
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