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设备 / 光学仪器

自动快速扫描探针显微镜（D-3100）

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厂商及型号

Veeco公司Dimension 3100

性能参数

室温、大气环境，结构横向分辨率0.2nm，垂直方向分辨率0.03nm

服务功能

可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。如形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力、表面电势、磁/电场分布等，还具有纳米操纵和高精确度纳米刻蚀功能。开放电、磁等多模式
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