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设备 / 光学仪器

电子束聚焦离子束双束扫描电子显微镜

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厂商及型号

FEI Helios 600i

性能参数

1.放大倍率：40倍到60万倍 2.二次电子分辨率：≤0.9nm@15kV；≤1.4nm@1kV 3.离子成像分辨率：4nm@30kV

服务功能

用于纳米材料的刻蚀、沉积等微纳加工工艺以及透射电镜样品的制备； 配EDS附件分析成分
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