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设备 / 光学仪器

冷场发射扫描电子显微镜

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厂商及型号

日立SU8020

性能参数

1. 放大倍率：60 倍到200万倍 2. 加速电压：100 V - 30 kV 3. 分辨率：1.0nm @ 15kV, WD=4.0mm

服务功能

利用二次电子、背散射电子信号反映样品表面微观形貌；配EDS附件分析成分
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