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设备 / 光学仪器

共聚焦显微镜

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厂商及型号

卡尔蔡司 AXIO CSM700

性能参数

光学分辨率：250nm;物镜倍率：10X，20X，50X;垂轴分辨率：1nm;数值孔径：0.25，0.5，0.95。

服务功能

高精度表面形态测量，检测细微表面的高度差异，线宽测量、体积、表面积，异物，杂质等的大小，表面粗糙度分析。2、三维形貌显微镜。 测量被加工样片的三维轮廓形貌。
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