厂商及型号
phystech //FT1030
性能参数
C-DLTS；CC-DLTS；I-DLTS；DD-DLTS；Zerbst-DLTS；
O-DLTS；FET分析
MOS分析ITS (等温瞬态谱)
缺陷压型
俘获横截面测试
I/V,I/V(T) Richardson曲线C/V, C/V(T)
TSCAP
PITS(光致瞬态谱)
DLOS(特殊系统)Fourier变换，Laplace变换，指数拟合分析，ITS
(等温瞬态谱)，信号重褶皱，温度扫描信号重褶皱
服务功能
缺陷浓度扫描
能量曲线
俘获横截面测试
3-D ITS测试
自动测试瞬态信号，如温度，脉冲宽度.
通过3D-ITS测试对Arrhenius
曲线进行估算包括对信号的重褶皱作用
对数瞬态信号 (放大的)ITS测试信号
可测试热激活俘获横截面
金属-半导体之间的接触电阻测试
