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厂商及型号
NIKON//Nikon MM-800/L
性能参数
最大晶圆尺寸：8寸(兼容6寸)； 切割速度：≥1000mm/s； Y轴分辨率：≤0.0001mm Z轴分辨率：≤0.00005mm； 离心清洗器释出压力：3～10MPa； 恒温水：20～25℃；
服务功能
用于6寸和8寸的晶圆划片
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