金属汽相沉淀仪

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厂商及型号

AIX2400G3/HT

性能参数

系统的漏率<10-9帕斯卡*米3/秒;石墨大盘水平偏差<20μm;垂直偏差<200μm

服务功能

做GaN发光二极管;HEMT;紫外探测器等