镜面定位仪

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厂商及型号

TRIOPTICS OptiSurf 600

性能参数

量程600mm光程,绝对测量精度±1μm,测量重复性:标准偏差<0.5μm,可测量最小距离:30μm

服务功能

用于非接触式测量高精度光学系统中各个表面相对位置,如镜间距、透镜中心厚度。