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JSPA公司 //IX260
性能参数
1.管芯隔离后2寸wafer，10min可实现剥离; 2.2寸整片剥离需40min。
服务功能
主要对基于蓝宝石衬底的GaN外延片进行蓝宝石衬底的剥离，能对样品进行紫外激光照射处理等。
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