激光剥离机

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厂商及型号

JSPA公司 //IX260

性能参数

1.管芯隔离后2寸wafer,10min可实现剥离; 2.2寸整片剥离需40min。

服务功能

主要对基于蓝宝石衬底的GaN外延片进行蓝宝石衬底的剥离,能对样品进行紫外激光照射处理等。