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设备 / 电子电工仪表

精密型纳米器件测试探针台

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厂商及型号

Cascade Microtech, Inc.//Cascade Summit 12000B-AP

性能参数

⑦壳温控制范围：50℃～80℃任意设置，一致性±3℃以内；

服务功能

该设备提供外界干扰信号屏蔽并作为可靠性测试硅片的载物台使用。该探针台是专门测量纳米器件可靠性的探针台，具有更好的屏蔽功能；具有更精准的温度控制系统以及更快速的升降温调控；其配套的高温探针对温度和频率的变化不敏感。
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