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QFI OTD-09S微光发射探测显微镜
性能参数
20nm阶段分辨率和0.5um的重复率,支持2k*2k的扫描分辨率,兼容NIR激光器,支持多激光器投影,支持SI-CCD，InGaAs及InSb检测器,具有CAD软件管理接口
服务功能
对样品的故障点进行有效而精确的定位的失效分析
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