集成电路缺陷显微分析系统

浏览次数

133

收藏次数

0

接洽次数

0

厂商及型号

QFI OTD-09S微光发射探测显微镜

性能参数

20nm阶段分辨率和0.5um的重复率,支持2k*2k的扫描分辨率,兼容NIR激光器,支持多激光器投影,支持SI-CCD,InGaAs及InSb检测器,具有CAD软件管理接口

服务功能

对样品的故障点进行有效而精确的定位的失效分析