厂商及型号
Advanced Technology PW-800S
性能参数
1、卡盘尺寸：200 mm，卡盘表面平整度3um，转动角度：0-30度
移动精度：0.1度，卡盘与机台底座具有绝缘装置，可进行3000V 电压之mos 器件测试（电流在mA级别）。可进行100A之电流测试（电压在MV级别）；2、U-型台面可线性微速升降，精度：±3um，平面平整度：±2um；3、显微镜搭载仪移动精度1um.4、X-Y-Z移动精度：100线/英寸（0.7微米）
X-Y-Z 移动距离: 12mm*12mm*12mm；5、视频采集：Sony-ssc-83 CCD，视频采集卡与计算机搭配采集图像，视频。
服务功能
1、测量半导体功率器件及相关半导体芯片的电压、电流、电感等参数；2、配有屏蔽系统；3、配有Keithley4200半导体参数仪等配套设备。
