厂商及型号
KEITHLEY SCS-4200
性能参数
4210-SMU功率模块：最大直流电压210 V，最大电流1 A,最大输出功率22 W；最小电流分辨率（1pA量程条件）100aA，测量精度1.000%+10 fA；电压测量最小分辨率（200 mV量程）1 μV，测量精度0.012%+100 μV；电压输出调节分辨率5 μV，调节精度0.02%+150 μV；最大负载电容：10 nF。
4210-CVU模块：测试信号频率范围1 kHz~10 MHz；测试信号输出电平：10 mVrms~100 mVrms。
服务功能
精密DC电流电压（I-V）测量，提供全面半导体特性分析基础；AC阻抗（C-V）测量；脉冲式信号和瞬态信号测试，提供动态特点分析。
