半导体参数测试仪(九室)

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厂商及型号

KEITHLEY SCS-4200

性能参数

4210-SMU功率模块:最大直流电压210 V,最大电流1 A,最大输出功率22 W;最小电流分辨率(1pA量程条件)100aA,测量精度1.000%+10 fA;电压测量最小分辨率(200 mV量程)1 μV,测量精度0.012%+100 μV;电压输出调节分辨率5 μV,调节精度0.02%+150 μV;最大负载电容:10 nF。 4210-CVU模块:测试信号频率范围1 kHz~10 MHz;测试信号输出电平:10 mVrms~100 mVrms。

服务功能

精密DC电流电压(I-V)测量,提供全面半导体特性分析基础;AC阻抗(C-V)测量;脉冲式信号和瞬态信号测试,提供动态特点分析。