厂商及型号
Agilent Technilogies //B1505A
性能参数
大功率SMU提供10fA至1A与2uV至200V的IV测量功能。高电压SMU可在3000V时执行次微微安泄漏测量。高电压SMU可在8mA时提供1500V的电压或在4mA（脉冲或直流）时提供3000V的电压；脉冲宽度为500us至2s。多频率（1KHz至5MHz)电容测量单元可在高达3000V直流偏置时提供CV电容测试能力。
服务功能
在高电压、大电流的功率器件研究中需要准确测量高电压、大电流时芯片的特性与器件的参数。Agilent B1505A半导体综合特性分析仪可用于在整个工作范围精确测量功率器件的电压－电流特性，测量器件的漏极－源极特性和结电容；用于晶圆片上芯片的各种电学特性的测量，以便于评价芯片的质量。
