多功能高精度半导体器件可靠性测试与分析系统

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厂商及型号

STAr Technologies, Inc.//STAr Sagittarius

性能参数

1整合性: 能够整合市场上最通用品牌半导体测试设备 2测试功能: 高频及准静态CV测试、JRAMP测试、JTDDB测试、VRAMP测试、VTDDB测试、ISO-EM、TCR、Charge pumping、HCI、TVS、BTI及fast-NBTI; 3 测试模式: (1) 图像互交模式(简单快速测量) (2) 工程模式(适合工程师进行编程) (3) 自动模式(供大量测试时使用)

服务功能

该设备功能是提供纳米新器件的基本电学特性(如:I-V、C-V等)以及器件可靠性(如:BTI、TDDB、HCI等)的测试与分析,并支持手动和自动两种测试模式。其最小电流和最小电压值可分别达到皮安(pA)量级和微伏(μV)量级,适用于16/14纳米技术代及其以下的纳米新器件的高精度的测量要求。