电化学分析仪(8寸)(十室A)

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厂商及型号

Zennium

性能参数

电流范围±1nA—±2.5A,最大扫描电压±10V;频率范围10uHz—4MHz;阻抗测量范围30uΩ—1GΩ

服务功能

CMP中,研究slurry与晶圆表面电化学相互作用研发新研磨液及新配比;WET中,研究化学液与各种材料之间的腐蚀速率腐蚀电位及选择比