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厂商及型号
Zennium
性能参数
电流范围±1nA—±2.5A，最大扫描电压±10V；频率范围10uHz—4MHz；阻抗测量范围30uΩ—1GΩ
服务功能
CMP中，研究slurry与晶圆表面电化学相互作用研发新研磨液及新配比；WET中，研究化学液与各种材料之间的腐蚀速率腐蚀电位及选择比
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