厂商及型号
美国FEI公司Nova NanoSEM430
性能参数
超高的分辨率：≤1.0 nm @ 15 kV； ≤1.6 nm @ 1.0 k； 大的观察范围：100 mm ×100 mm； 大的样品台倾角：-5° ~ + 70； 快速准确的能谱仪(EDS)：超大面积电制冷硅飘逸探测器，能谱分辨率：≦129 eV (Mn Kα, 40000 cps)； 高分辨率形貌观察与快速成分分析相结合； 非导电样品形貌观察
服务功能
NOVA NanoSEM 430具备超高分辨率，可以获得纳米尺寸级别样品的表面形貌信息；可在高真空下实现高压和低压的超高分辨率形貌检测；可在低真空下对非导电导电样品超高分辨率形貌信息检测。具备优秀的样品位置导航系统，可对最大直径为100mm片状样品进行大范围移动、倾转。可以进行快速的EDX能谱分析。
