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设备 / 光学仪器

纳米位移动台

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厂商及型号

非标

性能参数

控制模式：开环/闭环；位移测量精度：±0.05%FS(电容传感器)，±0.1%FS(电阻应变片)；位移测量分辨率：16bit闭环控制精度：0.1%FSR

服务功能

微米级、纳米级的微定位、微操作
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