6自由度微位移台

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厂商及型号

PI P-587.6CD

性能参数

运动范围:XY向:800μm,Z向:200μm; 定位精度:XY向:±3nm,Z向:±2nm; 运动平面度误差:<15nm

服务功能

用于对准系统标记的精确移动和定位