激光分子束外延系统(LMBE)

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厂商及型号

II型

性能参数

极限真空度:1′10-8pa、衬底加热温度:900°C、最大衬底尺寸:2英寸、各种靶材4块

服务功能

层状外延生长薄膜材料、生长机理研究