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厂商及型号
SSC8000A
性能参数
槽式机台，晶圆干进干出；一次处理25片晶圆，4种化学液配置，SPM/dHF/APM/HPM, IPA干燥; 清洗后颗粒不超过20个/片@0.2μm；
服务功能
用于进炉氧化前清洗，及其他重要非金属薄膜淀积前清洗
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